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概要
它是可以对用于半导体工艺的混合气体 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不纯物进行超高灵敏度、高精度 (最小检测感度10ppb) 连续检测的装置。由于采用了交替流动调制方式，可以和零气体不断比较的同时进行检测，所以没有零点漂移，能够获得长期稳定的检测值。由于它通过19英寸RACK方式进行了集中，所以系统升级也很容易。最适于半导体气体制造设备的质量管理 。
特征
1分析仪最大可以搭载CO/CO2/CH4中的2种成分，2种成分可同时以数字形式显示浓度。
采用了交替流动调制方式，没有零点漂移，可以获得长期稳定的连续检测值。
不需要进行光学调整，维护性得到了提高。
由于搭载有流量(压力)异常、断路器(电磁阀)、失火报警(GA-360E)、电源断开的自我诊断功能，所以能够迅速地在发生异常时采取措施。
規格
|
测量原理 |
GA-360E:交替流动调制方式非分散红外线分析法 |
|---|---|
|
GA-360E |
交替流动调制方式火焰电离检验方法 |
|
检测对象气体 |
GA-360E:CO/CO2/CH4内最大选取2种成分 |
|
检测量程 |
GA-360E:0〜1/2/5/10ppm |
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