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Active thermal probe
活性热探针
德国Neoplas公司研发的一款通过测量流入基底的能量来控制和改进等离子体过程的探针,该探针是简单易行的监测等离子体过程的新工具。
应用:
· 监测等离子体过程
特点:
· 高灵敏度
· 适用于真空
· 可改变长度和几何形状
· 包含系统控制和计算求值的软件包
技术规格:
· 耐热温度达到450℃
· 流入能量侧能力达到(2+-0.001)W/CM2
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恒奥德仪器仪表
环亚生物
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