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徕卡高真空溅射镀膜仪 Leica EM SCD500
仪器简介：
*无油高真空系统，适合于高分辨率FE-SEM观察前样品镀膜机TEM/EDX喷涂要求；也可应用于制备多层膜样品
*功能：金属溅射镀膜/辉光放电/蚀刻（样品清洁）/碳丝蒸发镀膜/碳棒蒸发镀膜/金属热阻蒸发镀膜/加装液氮冷台（适配EM VCT100)
*带有金属靶档板，适用于特殊溅射靶材的预溅射，确保镀膜纯度
*可选配石英膜厚监控器，可程序化控制膜厚，并反馈镀膜仪
*样品室尺寸：标配Ø106mm,选配Ø205mm（可容纳wafer 152mm/6"圆形或127mm/5"方形）
*操作简单，带有LED指示，机身印有操作说明
如需更多详细信息请联系我们：
上海微兹光学仪器有限公司（徕卡仪器有限公司工业材料显微镜华东区授权代理）
地址：上海市中山西路1878号凯托大厦1号楼901室[200235]
电话：021-53028925
传真：021-53028926
E-Mail:sales@vicioptics.com
仪器简介：
*无油高真空系统，适合于高分辨率FE-SEM观察前样品镀膜机TEM/EDX喷涂要求；也可应用于制备多层膜样品
*功能：金属溅射镀膜/辉光放电/蚀刻（样品清洁）/碳丝蒸发镀膜/碳棒蒸发镀膜/金属热阻蒸发镀膜/加装液氮冷台（适配EM VCT100)
*带有金属靶档板，适用于特殊溅射靶材的预溅射，确保镀膜纯度
*可选配石英膜厚监控器，可程序化控制膜厚，并反馈镀膜仪
*样品室尺寸：标配Ø106mm,选配Ø205mm（可容纳wafer 152mm/6"圆形或127mm/5"方形）
*操作简单，带有LED指示，机身印有操作说明
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地址：上海市中山西路1878号凯托大厦1号楼901室[200235]
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传真：021-53028926
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