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Quantus HP100 高压气体光谱分析仪

报价 面议

品牌

暂无

型号

Quantus HP100

产地

美洲美国

应用领域

暂无
特征概览:
  • 等离子体频率900M Hz, 光波长范围:190-890 纳米
  • 易更换等离子体组件,低的运行维护费
  • KF40或KF50 标准连接口
  • 良好的探测精度最低至ppb级
  • 宽工作压力范围:1乇至1个大气压,无需泵组
  • 快速采样频率24赫兹
  • 小巧,易安装
 
 
应用:
  • 用于半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀腔体检漏,气体组份比率及等离子体刻蚀终点探测(Endpoint)。
 
 
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