MIDAS SYSTEM公司开发并生产用于半导体、MEMS、LED及纳米技术相关的实验室和工业领域的光罩对准曝光机和甩胶机,是韩国第一家研发并商业化光罩对准曝光机的企业,始终致力于不断完善、增强技术型企业的核心竞争力。
MIDAS SYSTEM公司具有专业化的设计团队,以客户需要为己任,生产、供应满足国内外企业、科研院所不断增长的应用需求,并且提供半导体工艺相关的设备需要。
SPIN-3000D桌上型精密匀胶机设计用于实验室应用,精准地将一系列液体材料涂于基片上,根据材料的粘度、转速以及匀胶时间等参数匀胶膜厚范围从1nm直到100μm。
项目 |
参数 |
匀胶时间 |
1~999s可调 |
基片尺寸 |
直至6″ |
卡盘转速 |
300~7000rpm |
旋转状态 |
50步、20菜单 |
胶钵尺寸 |
12″ |
加速/减速速率 |
可调 |
真空卡盘 |
阳极处理铝,缩醛 |
电源 |
220V、5A |
无油真空/压力泵 |
-650mmHg |
尺寸 |
230mm×340mm×260 mm |