机械部分: |
扫描系统: |
X / Y / Z 三轴超高性能线性电机驱动扫描系统,X / Y 轴具有内置磁力悬浮机构,在高速扫描过程中可隔绝振动的影响,并采用光学编码接口的驱动方式,Z 轴采用触发接口的驱动方式 |
扫描范围: |
X-Y 方向:最小 0.2×0.2mm,最大 430×430mm, Z 方向:100mm |
最大扫描速率: |
1,500 mm/s (根据扫描设置参数自动调整或手动调整) |
扫描加速度: |
1.5 m/s2 |
光学编码器分辨: |
15 nm |
重复精度: |
+/- 0.1μm (由扫描台内置光栅尺分辨率决定) |
Z-轴自动对焦: |
专利号:DE102006005449A1 |
水槽尺寸: |
670 x 560 x 150 mm或670 x 560 x 70 mm(针对晶圆Wafer检测) |
电子部分: |
脉冲接收器: |
4× 500MHz 带宽 |
换能器可选范围: |
5MHz - 400MHz |
ADC 信号转换: |
4×500M sample/s AD模数转换卡 |
双通道接口: |
可在加装透射接收探头的情况下,将透射和C-扫描同时一次性进行
(S-扫描模式) |
工控计算机: |
4×PC 工作站,CPU 3GHz 双核处理器,4GB 内存, 250G 以上硬盘,DVD-RW刻录光驱, 高速图像卡, Windows 7操作系统,PS2,RS232,USB及网络接口,1台26" LCD 监视器(工控机的配置将随市场的升级而有所变化,以实际到货配置为准) |
操作软件部分: |
扫描模式: |
A-,B-,C-,D-,G-,P-,X-,Z,3D-,顺序扫描,自动扫描,Tray-托盘扫描,B-scan定量测量,包括渡越时间功能的A-scan数字波形实时显示,预扫描和快速预扫描模式;
扫描模式选件:Through 透射扫描(S-扫描: 透射+ C-扫描同时进行) |
图像模式: |
正、负、全峰值波形图像模式选择;平均值图像模式;渡越时间图像模式;相位翻转检测图像模式;表面跟踪图像模式; |
图像分辨率: |
最小 125 x 125 像素,最大 32,000 x 32,000像素 |
图像输出: |
bmp,jpg,sam格式 |
定量测量: |
自动分层面积百分比计算;自动尺寸标识;X - Y 长度计算;声阻抗计算及颜色设定; |
图像着色: |
根据相位翻转自动着色;根据灰度等级手动着色;根据渡越时间手动着色,根据厚度变化手动着色(已知材料的阻抗值); |
分析软件部分: SAMnalysis IA :
图像处理,包括图像增强、滤波、平滑、锐利等常规的图像处理功能;缺陷的量化分析,包括面积、数量、尺寸等统计功能;渡越时间分析;推拉窗口分析;厚度估计;声速计算;分层缺陷分析;波形比较分析;三维图像显示和分析; |