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常规+特种气体微量杂质分析
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高纯气体应用领域极广，无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂，都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为载气，保护气和配制混合气的气体来源。
Ellutia高纯气/特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法，检测限可达ppb级（<50ppb），既可用于检测常见的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量杂质，还可分析特种气体如HCL，SiH4，BCL3，N2O,CF4等。根据不同应用要求，实现客户化定制。
产品特点
实现多种气体高灵敏度检测
氦气吹扫，避免与空气接触所引起的外界污染
精密防泄露装置，避免潜在污染
配备高纯气吸气剂，去除微量杂质
尺寸规格小，不占据实验室空间
Ellutia高纯气/特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法，检测限可达ppb级（<50ppb），既可用于检测常见的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量杂质，还可分析特种气体如HCL，SiH4，BCL3，N2O,CF4等。根据不同应用要求，实现客户化定制。
产品特点
实现多种气体高灵敏度检测
氦气吹扫，避免与空气接触所引起的外界污染
精密防泄露装置，避免潜在污染
配备高纯气吸气剂，去除微量杂质
尺寸规格小，不占据实验室空间
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