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详细描述
大平台芯片检查显微镜 (E30-LW400LJT/LMDT)
性能描述
•大平台无穷远芯片检查显微镜是适用于半导体晶圆的检验、芯片封装、电路基板、材料等行业的理想仪器。可进行偏光与明视场、暗视场观察转换。专门设计的大移动范围载物台，移动范围:8"×8"(204mm×204mm)，满足半导体行业的需求。粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值:0.7μm。三目镜筒，可进行100%透光摄影。
标准配置
技术规格
目镜 大视野 WF10X(视场数Φ22mm)
无限远长距平 E30-LW400LJT PL L5X/0.12 工作距离：26.1 mm
场消色差物镜 （配明场物镜） PL L10X/0.25 工作距离：20.2 mm
PL L20X/0.40 工作距离：8.80 mm
PL L50X/0.70 工作距离：3.68 mm
PL L80X/0.80 工作距离：1.25 mm
E30-LW400LMDT PL L5X/0.12 BD 工作距离：9.70 mm
（配明/暗场物镜） PL L10X/0.25 BD 工作距离：9.30 mm
PL L20X/0.40 BD 工作距离：7.23mm
PL L50X/0.70 BD 工作距离：2.50 mm
PL L80X/0.80 BD 工作距离：1.25 mm
目镜筒 三目镜30˚倾斜, 可100%通光摄影
落射照明系统 E30-LW400LJT 6V30W卤素灯，亮度可调
E30-LW400LMDT 12V50W卤素灯，亮度可调
内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置，推拉式检偏器与起偏器
调焦机构 粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:0.7μm
转换器 五孔(内向式滚珠内定位)
载物台 机械式载物台，外形尺寸：280mmX270mm，移动范围：横向（X）204mm，纵向（Y）204mm
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