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高分辨紫外波前传感器
PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技术(4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围为190到400 nm。
采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体等)和表面检查(例如晶片检验)。
有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案。
主要特点
• 高分辨率(250 x 250)
• 大孔径(8,0 mm x 8,0 mm)
• 覆盖UV光谱
• 高灵敏度(0,5 nm)
• 优化信噪比
• 适用于光学测量
参数
孔径 | 8.0 x 8.0 mm² |
空间分辨率 | 32?um |
采样点 | 250 x 250 |
波长 | 190 - 400 nm |
精度 (绝对模式) | 10 nm |
灵敏度 | 0.5 nm |
动态范围 | > 200?um |
曲率半径 | 10 mm到+∞? |
曲率半径灵敏度 | < 5.10 m |
分割频率 | 1 fps |
采样频率 | 30 fps |
尺寸(l x H x L) | 95 x 105 x 84 mm |
重量 | 900 g |
高分辨率紫外波前传感器信息由广州市固润光电科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于高分辨率紫外波前传感器报价、型号、参数等信息，固润光电客服电话：400-860-5168转2499，欢迎来电或留言咨询。
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