仪器对比
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·高级智能数字式正置材料显微镜，适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、电子元器件，粉尘颗粒等样品的观察分析，多种安全设计，保护晶圆，镜头及观察者
·模块化设计，可实现反射观察、透反射观察配置
·复消色差光路，整体光路支持25mm视野直径
·可选配UV光源，提高观察分辨率至亚微米结构，UV由大功率LED产生，具有UV和OUV功能
·12x12大样品台，可观察晶圆，LCD等大尺寸样品
·6孔位电动物镜转盘，配接32mm直径长工作距离工业物镜
·内置电动或手动调焦系统
·独有0.7X宏观物镜，具有宏观晶圆检查功能
·可实现明场、暗场、偏光、干涉和斜照明方式
·机身内置LED透、反射照明电源，智能光强变化控制照明方式
·能自动记忆在不同物镜下和不同观察方式下最佳的光强、光阑大小及聚光镜的组合，自动恢复到位，操作简单快速
·基座配触摸按钮，控制显微镜的操作
·光强、光阑、观察方式和聚光镜调节可由按键和计算机控制操作，并自动在不同倍数物镜下拍的照片中加相应倍数标尺
·具有色温恒定系统，提供工作效率
·可配接摄像头，数码相机进行图像采集、分析、测量
·可配接荧光观察、高温热台、阴极发光仪、光度计
·可配接自动扫描台进行多视场非金属夹杂物分析和颗粒粒度、清洁度分析
1年
是
有
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全自动晶圆缺陷检查系统2024-04-15
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