型号 |
VHR 640 | VHR 1000 | |
焦距 | 640 mm | 1000 mm | |
入射孔径(单光栅模式) | f/5.4 | f/9.0 | |
光栅尺寸 | 单光栅模式 | 110 mm x 110 mm | |
双光栅模式 | 80 mm x 110 mm | ||
扫描范围 | 0 – 1500 nm | ||
光谱范围 | 100nm – 15µm (取决于选择的光栅) | ||
扫描速度 | > 300 nm/s | ||
光谱色散 | 1.2 nm/mm | 0.8 nm/mm | |
光谱分辨率 (10um狭缝) | 0.016 nm | 0.010 nm | |
波长位置精度 | ± 0.03 nm | ||
波长可重复性 | ± 0.015 nm | ||
入射接口 | 测微狭缝 | 0 – 2 mm | |
出射接口 | 测微狭缝或CCD | 双出射狭缝,或25mm平像场可选,搭配转折镜使用 | |
真空度 | 优于10-5mbar | ||
法兰 | DN25KF狭缝接口 | ||
DN63LF,VHR机身真空泵接口 | |||
DN25KF,VHR机身真空计接口 | |||
DN100LF,CCD法兰 | |||
PC接口 | RS232 – USB | ||
尺寸 | 长 | 740 mm | 1160 mm |
宽 | 350 mm | 430 mm | |
高 | 350 mm | 350 mm | |
质量 | 65 kg | 70 kg |
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