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目前改进型MFC F 260的特点：
Ø 针对传统的MFC260版本对弹性密封件和可靠的热阀进行了改进；
Ø 兼容其他的MFC产品
Ø 经济性设计，简单的结构
Ø 来自各行各业的优良反应
Ø 可对外输出标准读数
| F260流量范围 (等效于N2): | from 20 sccm to 5 slm |
| 控制范围: | between 2 and 100% F.S. |
| 阀门类型: | Thermal |
| 阀门初始位置: | 常开 Normally Open only |
| 精度: | +/- 1% of F.S. |
| 线性: | +/- 0.5% of F.S |
| 重复精度: | +/- 0.3% of F.S. |
| 相应时间: | <= 6 sec. typical (SEMI E17-91) |
| 适用温度范围: | between 5 and 40°C |
| 温度补偿系数: | < 0.1% F.S. /°C |
| 最大内部压力: | 10 bar |
| 最小压差: | 0.5 bar (0.7 bar with H2) |
| 最大压差: | 3 bar |
| 压力补偿系数: | < 0.1% F.S./bar |
| 材质: | 316 L Stainless steel |
| 泄漏率: | < 2.10-9 scc/sec (He) |
| 密封: | standard Viton, option Neoprene or kalrez |
| 配件接口: | ¼ VCR – ¼ VCO – ¼ Swagelok |
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