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美国Rtec公司生产的UP系列光学轮廓仪测量系统沿着纵轴捕获一系列位置的光强数据。通过白光干涉图的形状，干涉图的局部相位或者是二者的结合来确定表面位置。本公司还有激光共焦，白光共焦，拉曼光谱仪等，可以把这些设备自由组合在一起，以实现客户的不同需求
光学轮廓仪UP有如下特点
快速直观的操作
较高的计算程序，精确的高测量速度和简便的操作软件，使用户能够快速的分析和创建报告
多个物镜
该UP 带有6物镜转轮，包括多个物镜：长焦，短焦，不同数值孔径，投射镜头等
电子器件
先进的控制器，低机械噪声，自校准系统，可选波长，64位并行处理器，标准分辨率达到1920*1920
硬件
UP能够被固定到全自动化的平台，高强度LED10年保修，高级精加工零部件，低能耗，远程访问，内置相机侧视图，有效照明等。
软件
三维虚拟软件
影像分析
多种标准，粗糙，平面，波浪以及其他表面参数
微粒（粒子）和细孔分析
力曲线分析
附带傅里叶分析
过滤
用户界面报告的创建和编辑
影像编辑特征-光，颜色等
尺寸，表面积，体积，承载比分析
纹理计算，分类，其他纹理分析
光谱和分形分析
先进的统计分析
能够输出原始数据，影像，全部报告
数个可用的附加功能
参数：
内校准
4百万像素
可选波长
高强度长寿命LED
1920*1920成像
64位中央处理器
低机械噪声
并行处理
6物镜转轮
技术规格
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Vertical Resolution 垂直分辨率 |
0.1nm 0.1nm |
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Turret 转轮 |
upto 6 objective turret (manual or automatic) 6镜头转轮（自动或手动） |
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Scan Range 扫描范围 |
Up to 150mm x 150mm 最高达150mmx150mm |
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Sample thickness 试样厚度 |
upto 100mm 最高达100mm |
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FOV 视场 |
upto 10mm 最高达10mm |
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Objectives 物镜 |
10x,50x 10倍，50倍 |
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Z focussing range Z轴方向聚焦范围 |
nm to 10mm 0.1nm到10mm |
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Scanning area 扫描区域 |
150x150mm 150x150mm |
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Tilt 倾斜角 |
+/- 7 degree +/-7度 |
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Rotation (theta) 平台旋转范围 |
360 Degree 360度 |
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Pixel 像素 |
Standard 1024 x 1024 标准1024x1024 |
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