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现有Plasma Cleaner技术是针对透射样品以及透射样品杆进行等离子清洁,不过透射极靴内的碳氢污染物是无法去除的,而这些污染物也是导致高分辨下降,衍射分析不准确,真空度不好的最大元凶。 现美国XEI公司独创原位透射等离子清洁,适用于高端透射电镜系统,对于极靴污染物可以很轻易原位等离子去除,而且很多实验证明不损伤任何透射部件。此技术也获的美国专利。 TEM WAND原位透射极靴清洁样品杆
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