ILMVAC的隔膜泵外形小,噪音特别小并且能达到很高的真空度。它们的使用范围可达到2mbar, 在无油状态下工作。
隔膜泵有两种类型:
标准型:MP(1)
常规的物理应用,用于抽吸非腐蚀性气体
化学防腐型:MPC(2)
用于溶剂蒸气和酸蒸气的泵。隔膜和所有与蒸气的接触部分使用PTFE制造或覆有PTFE涂层并用碳纤维加固。很小的导电性降低了静电负荷,并降低了在泵内点燃爆炸性混合气体的危险性。MPC型完全适用于抗化学腐蚀的场合。
Ecoflex 型: MP ecoflex (3)
(转速控制)
Ecoflex化学防腐型:MPC ecoflex(4)
(转速控制)
新一代的智能型真空技术。隔膜泵转速可调。新的真空控制器VCZ324承担了真空设备的控制并因此最大能节省80%的运行费用。流程效率更高,更具可重复性,运行通常明显更快。
所有的ecoflex隔膜泵装备有VCZ324真空控制器。
- 测量范围: 根据感应器1100-1mbar, 可在mbar/Torr之间转换。
- 接口: RS232/485
- 显示: 数字式
- 显示误差:1mbar
- 感应器:带Al2O3-隔膜,抗电容或抗压电
- 测量原理: 与气体类型无关,绝对值
- 控制电压:24V
- 真空接口:通过感应器-通风阀 DN 16 KF
内置式隔膜泵:MP(5)
系统组件的安装方案
无外壳的小隔膜泵。对物理应用最理想。
最终压力低,可作为涡轮分子泵的单个前泵。
- 工作温度范围 10-60℃
- 10,000个工作小时
- 连接电压 24V
型号 最终压力mbar 抽吸速度
m3/h l/min
MP 104E(1) 230V <45 0.9 15.0
MP 201E(1) 230V <75 1.8 30.0
MP 601Ep(1) 230V <75 3.8 63.3
MP 1201Ep(1) 230V <75 8.3 138.3
MP 2401Ep(1) 230V <75 15.5 257.0
MP 054 Z(1) 230V <5 0.48 8.0
MP 101 Z(1) 230V <8 1.0 17.0
MP 301 Zp(1) 230V <8 2.3 38.3
MP 901 Zp(1) 230V <8 6.8 113.3
MP 1801 Z(1) 230V <8 12.0 200.0
MP 201 T(1) 230V <2 2.0 33.3
MP 601 Tp(1) 230V <2 4.5 75.0
MP 1201 Tp(1) 230V <2 8.3 138.3
MP 101 V(1) 230V <1 1.0 16.7
MP 301 Vp(1) 230V <1 2.3 38.3
MPC 104 E(2) 230V <45 0.9 15.0
MPC 201 Ep(2) 230V <75 1.8 30.0
MPC 601 Ep(2) 230V <75 3.8 63.3
MPC 1201 Ep(2) 230V <75 8.3 138.3
MPC 2401 Ep(2) 230V <75 15.5 258.3
MPC 054 Z(2) 230V <5 0.48 8.0
MPC 101 Z(2) 230V <8 1.0 16.7
MPC 301 Zp(2) 230V <8 2.3 38.3
MPC 901 Zp(2) 230V <8 6.8 113.3
MPC 1801 Zp(2) 230V <8 12.0 200.0
MPC 201 T(2) 230V <2 2.0 33.3
MPC 601 Tp(2) 230V <2 4.5 75.0
MPC 1201 Tp(2) 230V <2 8.3 138.0
MPC 301 Vp(2) 230V <1 2.3 38.0
…E – 单级隔膜泵 …T – 三级隔膜泵
…Z – 两级隔膜泵 …V – 四级隔膜泵
型号 最终压力mbar 抽吸速度
m3/h l/min
MP 104E(1) 230V <45 0.9 15.0
MP 201E(1) 230V <75 1.8 30.0
MP 601Ep(1) 230V <75 3.8 63.3
MP 1201Ep(1) 230V <75 8.3 138.3
MP 2401Ep(1) 230V <75 15.5 257.0
MP 054 Z(1) 230V <5 0.48 8.0
MP 101 Z(1) 230V <8 1.0 17.0
MP 301 Zp(1) 230V <8 2.3 38.3
MP 901 Zp(1) 230V <8 6.8 113.3
MP 1801 Z(1) 230V <8 12.0 200.0
MP 201 T(1) 230V <2 2.0 33.3
MP 601 Tp(1) 230V <2 4.5 75.0
MP 1201 Tp(1) 230V <2 8.3 138.3
MP 101 V(1) 230V <1 1.0 16.7
MP 301 Vp(1) 230V <1 2.3 38.3
MPC 104 E(2) 230V <45 0.9 15.0
MPC 201 Ep(2) 230V <75 1.8 30.0
MPC 601 Ep(2) 230V <75 3.8 63.3
MPC 1201 Ep(2) 230V <75 8.3 138.3
MPC 2401 Ep(2) 230V <75 15.5 258.3
MPC 054 Z(2) 230V <5 0.48 8.0
MPC 101 Z(2) 230V <8 1.0 16.7
MPC 301 Zp(2) 230V <8 2.3 38.3
MPC 901 Zp(2) 230V <8 6.8 113.3
MPC 1801 Zp(2) 230V <8 12.0 200.0
MPC 201 T(2) 230V <2 2.0 33.3
MPC 601 Tp(2) 230V <2 4.5 75.0
MPC 1201 Tp(2) 230V <2 8.3 138.0
MPC 301 Vp(2) 230V <1 2.3 38.0
…E – 单级隔膜泵 …T – 三级隔膜泵
…Z – 两级隔膜泵 …V – 四级隔膜泵
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