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ILMVAC的隔膜泵外形小，噪音特别小并且能达到很高的真空度。
它们的使用范围可达到2mbar, 在无油状态下工作， 特别适用于需
要抗化学腐蚀的场合。
隔膜泵有两种类型：
标准型：MP
常规的物理应用，用于抽吸非腐蚀性气体
抗化学防腐型：MPC
| 型号 | 电压 |
最终压力
（mbar）
|
抽吸速度
m3/h l/min
|
重量（kg） | 编号 |
| MP201E | 230V 50Hz | <75 | 1.8 30.0 | 6.5 | 400172 |
| MP101Z | 230V 50Hz | <8 | 1.0 17.0 | 6.5 | 400170 |
| MP301Zp | 230V 50Hz | <8 | 2.3 38.3 | 11.2 | 4000282 |
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