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大样品扫描探针显微镜源自著名的变温SPM，为采用SPM研究较大尺寸的样品（最大直径4’’的晶圆或自制样品）提供一个理想的平台。它主要特点如下：
样品最大直径4’’
可通过法兰对接在已有的真空腔体上
Sub system option
Fab line compatible
pA量级的隧道电流
增强的dI/dV隧穿谱
激光反射式AFM
QPlus式AFM
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大样品扫描探针显微镜源信息由牛津仪器科技（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于大样品扫描探针显微镜源报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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