美国SVT 衬底温度速率测量仪(工艺监控仪 ) /AccuTemp
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AccuTemp(In-Situ 4000)工艺监控仪可以闭环监控与控制多层薄膜生长。
用于MBE、MOCVD以及CIGS等系统中。
AccuTemp提供实时、准确的工艺信息，包括衬底温度、薄膜厚度、生长速率。
该仪器放置在一个观察窗上。
采用双色红外高温测量仪测量温度，该测量仪对观察窗口的附着物不敏感，还可以校准误差。
另一部件辐射仪，用来补偿发射率的变化，纠正高温测量仪的温度测量值。
Bandgap模块可选，它可以监控很低的衬底温度，还可以进行高温测量仪的简单校准。两个独立的光学反射信号用于分析并实时提供厚度、生长速率及折射系数。
典型应用
AccuTemp典型应用于 GaN，GaAs，ZnO，CIGS，Si， ZnTe，SiC，MCT以及STO。
AccuTemp 既可用于研究型设备也可用于生产型设备。
Bandgap模块可以使IS4K测量低于高温计范围的材料温度，例如在生长GaAs、GaSb及Si材料时可以使用。
特点
● 一个窗口就可以同时、实时测量温度和厚度
● 采用双波长用于穿过窗口涂层，进行透明度补偿
● 采用发射率补偿，提供真实温度
● 闭环控制
● Bandgap模块用于低温测量和校准
高温仪温度范围 | 450oC - 1,300oC |
Bandgap模块 | 室温 - 700oC |
衬底材料 | Si, GaAs, InP, 蓝宝石，STO，Gasb，MCT等 |
辐射仪波长 | 950,850nm |
噪声等效温差 | <0.5oC |
反射仪波长 | 950，470nm |
噪音等效厚度差 | <1nm @ film>100nm |
靶距离范围 | >7mmΦ |
测量斑点大小 | 1KW-5KW |
观察窗 | 2.75''CF(4.5''CF如果带边) |
尺寸 | 100×140×130mm |
对正方法 | 视频监控器 |
计算机要求 | Windows XP， 序列端口界面 |
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