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快速检测缺陷并进行样本概览，以改进分析和决策。
快速呈现结构和缺陷
检测并分析样本上的各种结构和缺陷，如划痕和污染。有一系列照明和对比方法可供选择，如明场、暗场、偏振光、微分干涉相差 (DIC)、荧光 (Fluo) 和红外 (IR)，帮助您快速可靠地进行检测。利用紫外光照明模式提高分辨率。
利用倾斜照明获得更多表面信息。结合紫外光照明模式进一步增强了对比度。
用不同的照明和对比方法采集的晶圆表面图像，在右侧图像中可以清楚地看到污染。
优化你的工作方式：
快速概览样品，节省时间
使用可选的 0.7 倍宏观物镜，快速揭示材料样本中的宏观缺陷和结构。宏观物镜提供约 36 毫米的视场，可快速定位和高效筛选，从而节省您的时间。
要检测高度超过 42 毫米的高大样本，显微镜可以配备一个“材料版”入射光轴。使用该轴时，对高度较低的样本进行检测将需要一个载物台插件。
在安全可控的环境中保持用户舒适度
以放松的姿势工作，确保在整个检测过程中保持舒适，帮助提高工作效率。
舒适地工作，提高工作效率
DM8000 M 和 DM12000 M 显微镜采用符合人体工学的设计，并提供自动化功能，让您在操作时不会感到疲劳，帮助您集中精力观察样本，尤其是在进行重复性检查时。
凭借可单独调节的人体工学目镜筒和高度可调的聚焦旋钮，您可以确保在日常检查和其他应用中在工作站获得满意的舒适度。
专为安全可控的环境而设计
当您需要检测任务关键型组件时，DM8000 M 和 DM12000 M 可在洁净室中使用。
具有表面电阻率的导电材料可保护您的产品免受静电损害。
封装的电动转盘专为要求苛刻的环境条件而设计。
集成的可见光和紫外光 LED 照明可降低污染风险。
对于洁净室，该显微镜的设计可优化其周围的气流，确保层流保持不受干扰。
产品参数 能够避免操作失误情况的出现
· 研究级材料显微镜，适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒等样品观察分析，多种安全设计，保护晶圆，镜头及观察者
· 模块化设计，可实现透、反射观察
· 复消色差光路，整体光路支持25mm视野直径
· 6孔位电动物镜转盘，配接直径32mm长工作距离物镜，物镜转盘带编码，可在不同倍数的物镜下自动加载相应倍数的比例尺
· 12 X 12大样品台，可实现12寸晶圆的直接观察
· 内置手动/电动调焦系统
· 独有的0.7X宏观物镜，具有晶圆检查功能
· 可提供全自动明场、暗场、偏光、微分干涉、斜照明等观察方式
· 机身内置LED透、反射照明光源，智能光强变化的控制照明方式
· 可选配UV光源，提高分辨率至亚微米结构，UV由大功率的LED产生，具有UV和OUV功能
· 可自动记忆不同物镜与观察方式下最佳的光强，光阑及聚光镜的组合，自动恢复到位，操作简单快速
· 光强，光阑，观察方式和聚光镜调节除了按键控制外，还可由计算机控制
· 可连接晶圆搬送机进行连续工作
· 可配接摄像头观察和采集图像，并提供专业分析软件
· 可配接高温热台，荧光光源，阴极发光仪，光度计等
产品特点
· 适用于所有观察方法的 LED 照明系统，LED 不会产生热量，以此保护样本。色温稳定，确保得出真实的可再现分析结果
· 利用 0.7X 的全景物镜，能够获得对样本表面的快速总览
· 高分辨率暗场 (HDF)，为您呈现更多细节
· UV和OUV观察方式进一步提高了横向分辨率和纵向分辨能力
· 软件强大的专业分析功能，包括晶粒度分析、相分析、铸铁分析、脱碳分析、夹杂物分析和清洁度分析
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