主要特征
由于下降速度的控制可高度重复针头的接触条件
可在控制器上单独控制针尖压力
2 运动针制导系统使用精密红宝石球探针和抛光碳化钨
实心针具有精确的圆角
针间距精度±0.01mm,无侧隙
探针在原位制导设备中进行更改和改变,不用担心乱序或者精度值下降,或在指导单位下完成探针的更换
千分尺控制片位移来测定斜面片的电阻率梯度和连接点
钢铰链式盖板,在测量过程中消除光电干扰
速度控制
空气阻尼器控制探针下降速度,从而保证了每次探针测量的接触条件相同。弹簧是用于升降杆,倾向于降低针头。该阻尼器与杆相连接,导致杆被活塞延缓升降速度。
操作方法
由一个小杠杆突出部分操控的凸轮轴,通过有机玻璃覆盖设置(操作)四探针或者三探针测试仪:
四探针操作时四个针头升降正常;
技术指标 | |
探针材质 | 碳化钨,Φ=0.5mm,L=26mm,450夹角,针尖曲率R=25μm(大到500μm) |
探针间距 | 1.00mm, 1.27mm, 1.59mm 公差± 0.01mm |
行程 | 4mm |
针尖绝缘电阻 | 500V时,2×105Ω |
针尖压力 | 0~100g(通过特别的的张力计可调) |
待测样品 | 薄片,Φ≤76mm |
安装表 | 球轴承坐标表 0~25毫米x0.01mm螺纹千分尺 (其它可供预定)带有旋转工作台Φ=76mm,H=14mm真空切片适配器 |
包装尺寸 净重 毛重 | 480mm x 320mm x 320mm(H) 7kg 9kg |
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