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特点:
·大幅度提高了驱动速度（X1轴：80mm/s,Z2轴：30mm/s),近一步降低了总测量时间。
·为了在一定时段内维持仪器的直线度规格，三丰公司采用了具有极佳的耐摩擦性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。
·大量的外周设备选件支持 CNC 模式，从而可以很容易实现CNC 测量。
·驱动装置（X1轴）和立柱（Z2轴）中集成了高精度线性编码器（Z2轴为 ABS 型），从而提高了在垂直方向持续自动测量小孔和不易定位工件的重复精度。
·最新设计的测臂减少对工件的干扰和扩大了Z1轴（高度）方向的测量范围。
·一触式可安装无拆卸的测臂。
·X1轴精度 ±（0.8+0.01L）μm
Z1轴精度 ±（1.6+|2H|/100）μm,针对高精度测工件的测量所设计
技术参数
X1轴
测量范围: 100mm或200mm
分辨率: 0.05μm
测量速度: 0.02-5mm/s
直线度: 0.8μm/100mm，2μm/200mm
指示精度: （20℃时） ±（0.8+0.01L）μm（CV-3200S4，H4，W4）
±（0.8+0.02L）μm（CV-3200S8，H8，W8）
倾斜范围: ±45°
Z2轴（立柱）
垂直移动 : 300mm或500mm
分辨率: 1μm
驱动速度: 0-30mm/s外加手动
Z1轴（检出器）
测量范围: ±30mm
分辨力: 0.04μm
指示精度（20℃时）: ±（1.6+|2H|/100）μm
测针方向: 向上/向下
测力: 30mN
角度跟踪: 向上:77°,向下:83°
测针针尖: 半径：25μm，硬质合金针尖
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