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德国MLase公司由准分子激光领导者Tuilaser公司前主要技术和领导负责人合作成立，其技术和管理源于Tuilaser公司，MLase公司专注于高品质的准分子激光的研发和制造，其产品广泛应用于医疗、科研和工业应用。
主要技术参数：
型号 | MLI-500 | MLI-500 |
类型 | 准分子激光器 | 准分子激光器 |
工作物质 | ArF | KrF |
波长 | 193nm | 248nm |
重复频率（最大） | 500Hz | 500Hz |
高电压开关技术 | 固体开关 | 固体开关 |
能量 | ||
最大能量 | >14mJ | >18mJ |
稳定能量 | >10mJ | >14mJ |
能量不稳定度 | <3% | <3% |
平均功率（稳定能量、最高重频） | 5W | 7W |
脉冲宽度 | ||
脉冲宽度（FWHM,典型） | 5-10ns | 5-10ns |
光束数据 | ||
光束尺寸（VxH） | 6mmx3mm | 6mmx3mm |
光束发散角（VxH） | 2mradx1mrad | 2mradx1mrad |
寿命 | ||
光学的寿命（稳定的能量） | >200Mio | >500Mio |
管子寿命（脉冲） | >2Billion | >2Billion |
冷却 | ||
冷却 | 被动风冷 | 被动风冷 |
占空循环 | 50%，5min on | 50%，5min on |
尺寸和重量 | ||
设备尺寸(LxWxH) | 最大650x315x445mm | 最大650x315x445mm |
设备重量 | <66kg | <66kg |
电力供应 | 最大2000VA,单相 | 最大2000VA,单相 |
MLase准分子激光器应用：
1、准分子眼科医疗；
2、布拉格光栅（FBG）刻写；
3、掩膜版检查；
4、脉冲激光沉积；
5、钻石雕刻；
6、微机械；
7、光谱学研究
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