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Eulitha公司开发的PhableR光刻系统,是一款纳米级高分辨图形化设备。PhableR设备的推出,简化了高质量、大面积纳米周期图形的加工过程。Eulitha公司多年来不断致力于提升技术能力,目前客户已经分布在全球众多领域的科研院所和工业企业。
北京汇德信科技有限公司是瑞士Eulitha公司在中国的独家代理,公司团队有25年以上微纳米加工领域的销售和服务经验,具备完整的咨询和技术支持体系。
EULITHA AG公司开发的PHABLE大面积、低成本的纳米图形化方案,采用突破性的Displacement Talbot Lithography技术。相比传统的电子束光刻、投影式光刻机、纳米压印等纳米结构方案中,遇到的生产效率、良率、生产成本等问题,PHABLE光刻技术提供了高精度、高均匀性、低缺陷率、高产率的解决方案。
照明、激光器、光通信、高端显示、太阳能、传感器、仿生等。
稳定的纳米级分辨能力;
大面积全域曝光,无需拼接;
无限制DOF,厚胶、表面翘曲无影响;
双工作模式:
全息光刻模式:周期性纳米结构;
掩膜对准光刻模式:任意微米级结构。
简化的曝光流程,可实现一键式曝光
灵活的客户定制化方案
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