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分子泵
无油泵
集成系列泵组适用于高真空应用领域。
空气冷却方式是以HiPace80与MVP015干式隔膜前级泵组成运行的。
DN 63 ISO-K
Without DCU 002
90-132 V AC, 50/60 Hz; 185-265 V AC, 50/60 Hz
Backing pump 前级泵 | MVP 015 |
Flange (in) 法兰（进） | DN 63 ISO-K |
Mains requirement 电源要求 | 110 V, 50/60 Hz ; 230 V, 50/60 Hz |
Mains requirement: power consumption 电源要求：能量功耗 | 230 W |
Pumping speed backing pump at 50 Hz 在50Hz下前级泵抽速 | 0.50 m3/h |
Pumping speed for N2 氮气抽速 | 67 l/s |
Pumping station components 泵组部件 | HiPace 80, MVP 015-2, TPS 110 |
Type 类型 | Turbo pumping station |
Ultimate pressure 极限压力 | < 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar |
Version 版本 | Compact |
Weight 重量 | 17 kg | 37.48 lb |
Pfeiffer vacuum Turbo Pumping Station Hicube Eco尺寸
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