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钨灯丝
15nm/5nm
2 到 15万倍
1kV 到 30kV
7nm@30kV
性能规格
1) 加速电压 1kV到20kV (30kV可选）
2) 放大倍率 2倍到15万倍
3) 样品台移动: X,Y(40mm) / Rotation(360°)/ Tilt(0~45°)/ Z(5~30 mm)
4) 全自动聚焦，全自动消象散，全自动明亮度对比度调整
5) BSE探测器，SE探测器
6) Powerful S/W配置
7) AOI Measurement Tool配置
8) 尺寸: 360(W) X 440(D) X 530(H)
优势说明
1) 超高性能台式扫描电镜系统
2) AURA100：2-Stage Lens Optics of Free Beam Alignment
AURA200：3-Stage Lens Optics of Free Beam Alignment
3) 对于不导电样品1KV低压成像
3) 简单的电子束对中操作
4) 装备有Powerful Measuring tool & Analysis Software
5) 友好的操作界面以及简易的操作模式
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