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基本型MiniLab 026
?模块化设计易于安装,操作,维修和升级
?全自动镀膜流程
?标配高性能分子泵真空系统
?PLC 抽真空和卸真空控制
?3船热蒸发源和2个LTE源（OLED）
?兼容手套箱操作设备
?全系列样品台及加热,冷却,偏压功能
?高质量镀膜和低入门价格
研发级多功能型MiniLab 060
?热蒸镀-4个水冷式电阻热蒸发源或气相高电流闭环电阻蒸发源(堪比电子束性能到2000°C）
?LTE有机镀膜-可配到4个低温有机蒸发源
?电子束蒸镀- 4 x 7cc 或 6 x 4cc 多坩埚蒸发源,多层镀膜全自动选择坩埚蒸发源功能
?磁控溅射镀膜-可配到4个3寸或2寸磁控头，拥有可选全自动共沉积镀膜
?3路工艺气体控制流量计,原位RIE样品平台
?全系列样品台及加热,冷却,偏压,Z shift功能
?其他大样品室,配套手套箱,预真空进样室 MiniLab 80,125
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多功能高真空镀膜系统 （磁控，电子束蒸镀，热蒸镀）信息由溢鑫科创科技集团为您提供，如您想了解更多关于多功能高真空镀膜系统 （磁控，电子束蒸镀，热蒸镀）报价、型号、参数等信息，溢鑫科创客服电话：400-860-5168转2856，欢迎来电或留言咨询。
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