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产品信息 
太阳能电池激光刻槽机
所属类别： ? 激光加工系统 ? 飞秒激光加工系统
所属品牌：立陶宛WOP公司
产品简介
WOP研发的全能型太阳能电池激光刻槽机配置有飞秒紫外激光器和纳秒红外激光器执行刻槽，刻蚀，烧制背接触等多任务操作，超薄硅片精密制程控制获得极高成品率，中试产线生产能力达到3MW/a。
关键词：光伏电池激光加工设备，太阳能电池激光加工设备，激光刻蚀，激光划片，Workshop of Photonics,Laser Workstation For PV SOLLAS,
激光刻槽，太阳能电池激光刻槽，晶硅电池激光刻槽，激光刻槽机
光伏电池激光工作站
WOP研发的全能型太阳能电池激光刻槽机配置有飞秒紫外激光器和纳秒红外激光器执行刻槽，刻蚀，烧制背接触等多任务操作，超薄硅片精密制程控制获得极高成品率，中试产线生产能力达到3MW/a。
全能型太阳能电池激光刻槽机执行4项工艺过程
l 选择性刻蚀SiNx/SiO2
l 背接触激光烧制
l 边缘绝缘处理
l 激光打标
l 可行性测试后整合其他过程
全能型太阳能电池激光刻槽机优势：
l 晶片更薄
l 更低破损率
l 精密深度控制
l 飞秒激光冷加工
l 参数调整便利促进工艺开发
l 选择性刻蚀(材料响应不同，配送控制能量不同)
产品特征：
l 产品研发线最佳生产能力2.5MW/a。
l 飞秒紫外和纳秒红外激光光源
l 机器视觉系统旋转探测和调节激光扫描场
l 高性能扫描振镜精确空间激光束控制
l 5″ 和 6″薄片加工
l 触摸屏用户界面控制简单生产模式(SCA工程设计)
l 研发模式下全功能软件(SCA工程设计)
1. 全能型太阳能电池激光刻槽机使用飞秒紫外激光光源对SiNx/SiO2选择性刻蚀。这种超精确刻蚀SiNx层的工艺对Si层的影响（直接或热效应）最小，不但延长了载流子寿命而且可以避免微裂纹。
2. 纳秒红外光纤激光器执行其他三个过程，在提高加工速度方面有巨大优势。
3. 自动硅片传送和扫描系统支持5″ 和6″直径晶体硅硅片。
4. 综合机器视觉系统和调整激光束扫描场的能力保证了高重复性和可靠性。
5. 系统配置一个一级激光安全罩和保证激光无尘工作环境的综合除尘系统。
6. 使用拥有生产和研发模式的灵活的，友好的软件ALTSE-SCA控制系统。
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