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AF 200微型自动聚焦激光测量系统
德国BMT公司生产的AF200自聚焦测头系统，可替代现有传统的位移和粗糙度测头。实现快速非接触测量表面形貌，粗糙度以及精密位移。
激光测量光束借助于物镜聚焦于物体表面，物镜的位置连续可调，激光束的焦点总是与物体表面重合，可同时测量表面轮廓和局域反射光。
AFS传感器具有表面复现度高的特点，传感器可配备微型照相机适配器，以便能够直接通过物镜对表面片段直接观察，使激光光束精密定位。特别开发、高度集成的BMT-IC，传感器热漂移极低。高倍率孔径物镜，保证仪器无论在垂直方向还是在水平方向均能提供较高的分辨率。
主要用途：
◆ 具有完整表面复现的表面粗糙度和轮廓测量
◆ 精密位移测量
◆ 微机械零件的尺寸测量
◆ 金相测量
◆ 振动测量
◆ 厚度测量
◆ 微小区域内直线度、平面度、园弧半径的测量（如转位刀片刃口、金刚石刀具）
主要特点：
◆ 非接触式表面轮廓测量、反射率的测量、垂直和横向的尺寸测量
◆ BMT-IC传感器
◆ 微型化的传感器
◆ 分辨率1nm
◆ 测量范围2000μm
◆ 光斑直径< 1μm
◆ 适用于制造业所有粗糙度测量
◆ 连续变焦
主要优点：
◆ 在高保真轮廓复现下对3D结构进行快速的非接触式测量
◆ 测量结果与表面结构无关
◆ 数据采集和评估可归并到已有的软件中
◆ 具有可组装性，可组装到已有的系统中
数据：
型 号 | AFS 1 传感器 | AFS 2传感器 | TFS传感器 |
测量范围nm | ±500 / ±50 | ±1000 / ±100 | ±500 / ±50 |
垂直分辨率nm | 1 | 1 | |
工作距离mm | 2 | 2 | 13 |
激光班直径（约）μm | 0.5 | 0.5 | 1 |
大测量频率* kHz | 20 | 20 | 20 |
大视场倾角** ° | 20 | 20 | 15 |
激光波长nm | 635 | 635 | 635 |
激光等级 | 1 | 1 | 1 |
外形尺寸mm | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 |
重量（约）g | 100 | 100 | 100 |
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