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日本ULVAC公司的蒸发源(EB枪)均采用磁场偏转.并防止蒸发材料污染的构造.
特点推荐EGN系列平顶结构如下:
特点:
一 平顶结构.防止飞溅.
1 平顶结构能让从坩埚中产生的二次电子很难通过反射飞溅打到基片上.造成污染.
2 平顶结构使得人们追求的180度
偏转成为可能.平项结构的电子枪,顶端不易附着沉积物.既便长期使用后会有少许生成,因其没有
任何羁绊,使得清洁非常容易.
二 易于拆解.方便维护.
1 通过结构的优化,减少使用琐碎零件的数量.
意味着后期维护工作的大幅轻减.零件数量减少35%,既将来的清洗维护的工作量减少35%,
2 采用新式结构型零件.
采用了两点定位的导轨定位销.不会造成装错的现象.让得普通的操作人员也可以进行拆解/组装电子枪.
降低维护门槛.
3 采用长寿命灯丝.
灯丝寿命是其他公司的三倍.能减少因断丝而造成的不必要的意外停机.
三 数字式控制系统及快速的灭弧重启系统.
1 关于通过采用数字化的控制界面调整发射功率, 调整是电子束形状.保证扫描图形.并有多种人性化
用户可操作界面.
2 对于蒸发材料上生成氧化物后,电弧不稳,或干脆灭弧的现象,配备有快速重启功能.速度是其他公司的二十倍之快.
EGN-206M/406M EGP-1G
维护用备件数量精减.平顶构造 180度偏转,长寿命灯丝.
冷却均匀.保证高镀膜速率. 精准转向.稳定的长时间
轻松方便地调整发射角度 保持电子束流中心位置.
安全的地线设计 和形状.维护后装回过程
由专业制具辅助.轻松完成
坩埚定位.
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