仪器对比
关注
产品简介：GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜（如金、铂、铟、银等）而设计，最大放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300?，特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。
主要特点
1、配有2L/s双旋片机械泵，出气口装有立式油雾过滤器，过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵的损耗，保护环境和人体健康。
2、已经过CE认证。
技术参数
1、输入电源：208V-240V 50Hz/60Hz <3000W
2、石英腔体：Φ100mm×130mm
3、样品台：Φ60mm，高度可调节，可加热到600℃
4、温控器：30段可编程温度控制器，控温精度±1℃
5、升温速率：15℃/min（推荐）
6、靶材：纯度为4N的金靶，Φ57mm×0.12mm
7、进气口：装有不锈钢针阀，可通入氩气，能实现更好的等离子涂层
产品规格
GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪
尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg
标准配件
1、金靶
2、真空泵
3、不锈钢波纹管
4、快速卸装卡箍
可选配件
Au、Pt、Ag靶
- 相关仪器
GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪信息由沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪报价、型号、参数等信息，沈阳科晶客服电话：400-860-5168转1374，欢迎来电或留言咨询。
相关产品
