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SGC-1A 椭圆偏振测厚仪
技术指标：
编号 | 名称 | 参数 |
1 | 测量范围 | 1nm-300nm |
2 | 测量最小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°～90°误差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角读数范围 | 0°～180° |
5 | 度盘刻度 | 每格2度 |
6 | 游标最小读数 | 0.05° |
7 | 光学中心高度 | 152mm |
8 | 工作台直径 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主机重量 | 20kg |
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