进口等离子体表面处理仪
13.56MHz
0~100W
宽305mm ×深625 mm×高300 mm
50L
不锈钢
3路
自动
Diener等离子表面处理设备 德国原装进口
德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。
目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品,以保证性能技术稳定。
德国diener等离子表面处理设备特点:
等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率最大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。
德国diener等离子表面处理设备的应用范围:
清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。
清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。
移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。
清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。
清洗半导体元件、印刷线路板。
清洗生物芯片、微流控芯片。
清洗沉积凝胶的基片。
高分子材料表面修饰。
牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。
改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
煤、石棉灰化。
Diener Tetra50-LF Plasma
主要技术参数:
Tetra-50-LF 标准配置
*操作界面简单方便
* 反应舱 305mm(宽)×300mm(高)×625 mm(深)
* 不锈钢反应舱体,铝合金舱门
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 皮拉尼真空泵可设定重复操作,真空泵排气净化管路
* 双气体配置, 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 可调节气体流量计
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 功率:0-1000W连续可调
* 自动阻抗匹配
* 电极4层电极,样品托盘4层放置 (可选装最多至6层)不锈钢托盘
* 安全保护功能:防静电真空开关,安全传感舱门
* 电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱
* 操作:手动或全自动
* 参数控制: 处理时间、功率、气体流量、压力
* 外形 600mm(宽)×1800mm(高)×800mm(深)
* 电压:380-400V/16A
* 真空泵 :莱宝(Leybold)Type D16B(16m3/h)
选装件:旋转舱体、计算机控制系统
上海尔迪仪器科技有限公司 中国总代理
用户单位 | 采购时间 |
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重庆富胜科技有限公司 | 2018-02-28 |
1年
否
有
无
一年一次
更换零部件
7X24小时
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