仪器对比
关注
进口等离子体表面处理仪
13.56MHz
0~2500W
宽400mm ×深625 mm×高400 mm
100L
不锈钢
3路
自动
德国原装进口
德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。
目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的优质产品，以保证性能技术稳定。
德国diener等离子表面处理设备特点：
等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。
对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率最大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。
德国diener等离子表面处理设备的应用范围：
清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。
清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。
移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。
清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。
清洗半导体元件、印刷线路板。
清洗生物芯片、微流控芯片。
清洗沉积凝胶的基片。
高分子材料表面修饰。
牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。
改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
煤、石棉灰化。
Diener Plasma
低压/真空等离子表面处理/清洗/蚀刻机 Tetra100
主要技术参数：
基本配置：
根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本，分为 80 - 100 升
供电电源： 230 V 或者 400 V / 3 相位
气源
质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
圆形不锈钢件，配有铰链的门
（约 ? 400 mm、长 625 mm）矩形不锈钢件，配有铰链的门
（约宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm）
装载件
产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
电极
单层或多层
具有气体喷淋的 RIE 电极
控制系统
PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
压力测量
Pirani
Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器
数字型
发生器
| 频率： | 40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W；0 - 1000 W | |
| 2.45 GHz: 功率 0 - 1200 W |
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空泵
规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
上海尔迪仪器科技有限公司 中国总代理
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 郑州航天电子技术有限公司 | 2018-09-13 |
| 重庆航伟光电科技有限公司 | 2017-08-11 |
| 爱普科斯(珠海)有限公司 | 2021-02-18 |
| 西安伟京电子制造有限公司 | 2016-04-12 |
| 聚融医疗科技（杭州）有限公司 | 2019-07-23 |
1年
否
无
现场操作培训
1年1次
免费更换部件，玻璃制品和耗材除外
24~48小时到达现场进行维修
- 相关仪器
- 相关资料
相关产品
