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简介：
激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。
中图仪器SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。
功能：
中图仪器SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。
性能特点：
1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3 软件界面友好
① 使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。
技术参数：
系统性能
2 测量方式：单频
2 稳频精度：0.05ppm
2 动态采集频率：50 kHz
2 预热时间：5-10分钟
2 工作温度范围：0~40℃
2 环境温度范围：0~40℃
2 存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
2 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
2 大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)
线性测量
2 测量距离：0-40m
2 测量精度：0.5ppm (0-40℃)
2 测量分辨率：1nm
2 测量最大速度：4m/sec
角度测量
2 轴向量程：0-15m
2 测量范围：±10°
2 测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
2 测量分辨率：0.1μm/m
直线度测量
2 轴向量程：0.1-4.0 m
2 测量范围：±2.5 mm
2 测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M为光学镜移动距离，单位：m）
2 测量分辨率：0.01μm
垂直度测量
2 测量范围：±3/M mm/m
2 测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
2 测量分辨率：0.01μm/m
平面度测量
2 轴向量程：0-15 m
2 测量范围：±1.5 mm
2 测量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
2 测量分辨率：0.1μm
回转轴分度精度测量
2 角度测量范围：0-360°
2 精密转台角度增量：5°
2 精密转台分度精度：±1秒
2 精密转台重复性：0.2秒
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激光干涉仪检测数控机床位置精度
汽车及零部件 2015-11-20
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