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2-欧米伽法纳米薄膜热导测试系统 TCN-2ω
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技术特点：
这种独特的仪器采用热反射法测定纳米薄膜样品的交叉平面的热传导性；是世界上唯一的商品化纳米薄膜装置。主要应用在半导体器件的热设计中，需要测量低k绝缘膜、有机薄膜、半导体薄膜的热阻。研发绝缘薄膜和提高热辐射。
能够测量形成在基板上的20至1000纳米薄膜的法线方向热导率
使用热反射方法，通过温度振幅测量导热参数
样品制备简单
TCN-2ω | |
温度范围 | 室温 |
样品尺寸 | 20-1000nm（厚度）（沉积10mm*20mm基板；基板厚度0.5-1mm） |
测量气氛 | 真空 |
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