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1、规格:
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-定位器:PB30
-Z轴上下旋钮:10um
2、可选:
-MFC气体控制器
-加热卡盘:300度
-冷卡盘:-180度
-显微镜(~300X),CCD变焦相机
14英寸LCD显示器,Hagger摆臂
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