接受不同规格舱体及工艺定制
循环时间为15分钟和90分钟之间
同时可以处理7块PCB板,处理最大尺寸为510×610mm
应用领域:
- 除污杂材料
- 聚酰亚胺箔加压前的蚀刻与活化,以便它能够提高粘接强度
- 表面清洁
- 金属表面粘接和焊接前的活化
去除胶渣的材料类型:
- FR4standard (for example Panasonic MC-100MS/EX)
-Modified FR4 systems (for example Panasonic: R-1766 T,R-1566W, R-1755-C)
-BT-systems (for example Isola IS620)
-CE-systems (Cyanante-Ester, for example Nelco)
-Polyamide materials (for example Isola P97, FNC… and AP…)
- PTFEbased on laminates (for example Rogers RO3000')
- Polymer based on laminates (for exampleRogers RO4000')
技术参数
控制方式 | FULL PC-Control |
工艺气体 | 4路 MFCs |
压力控制 | 皮拉尼压力计 |
腔体材质 | 不锈钢, |
腔体尺寸 | W 400 mm x D 700 mm x H 665 mm 约185L |
托盘 | 垂直,7层PCB专用 |
电极 | 垂直,7层PCB专用 |
发生器 | 80kHz,0~3000W |
真空泵 | 螺杆泵,排气速度500m3/h,外接冷却水 |
防腐 | 有,可对应CF4,SF6 |
H2安全阀 | 有 |
活性碳过滤 | 有 |
外尺寸: | W600 mm x D 1000 mm x H 2100 mm |
电源 | 三相400 V / 16 A |
立体托盘舱门
单个托盘
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