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Nano Indenter G300配备支持试样直径最大为12英寸的样品台,可对各种不同尺寸晶圆片直接进行力学性能检测，不需要破坏晶圆片就可以获得上面任意位置的力学性能，整个实验过程全自动控制，避免了可能的人为因素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。
优势
配有大样品台，最大样品直径可达300毫米
全自动控制，避免人为因素影响测试结果
应用范围广泛，升级方便
利用连续刚度测量技术对压入深度方向的动态力学性能进行精确的表征
精确的测量结果，高度的再现性，完全符合IS014577国际标准，GB／T 22458-2008国家标准。
应用
半导体材料
微机电系统
薄膜材料
复合材料
金属材料
陶瓷制品
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