Alpao高速连续反射面变形镜
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Alpao高速连续反射面变形镜
所属类别： ? 调制器 ? 可变形反射镜/自适应光学系统
产品简介
Alpao高速连续反射面变形镜
高性价比、高速（Up to 5kHz）、大波前调制量（80微米）变形镜！
Alpao高速变形镜采用电磁驱动器来使硅薄膜连续反射面发生形变，拥有大波前调制量、高线性度和可以进行实时波前调制等特点，非常适合天文、自由空间激光通信、眼科、多光子荧光显微镜和微电子（下一代半导体设备）等应用。同时，Alpao拥有领先的自适应光学系统控制算法，结合基于EMCCD技术的高灵敏度、高速波前传感器可以实现实时的大气湍流校正
Alpao变形镜，Alpao Deformable Mirrors, Alpao DM, Deformable Mirrors, 可变形反射镜, 变形镜，Adaptive Optics System, 自适应光学系统, WFS, Wavefront Sensor，波前传感器，自适应光学天文望远镜，Adaptive Optics Telescope，MEMS deformable mirror, 微机电系统变形镜
Alpao是一家从法国著名的格勒诺布尔约瑟夫?傅里叶大学独立出来的公司，其主要致力于开发使用电磁驱动器的高速、高线性度和大波前调制量连续反射面变形镜，其产品广泛用于天文、自由空间激光通信、眼科、多光子荧光显微镜和下一代高端半导体设备等应用，与欧洲南方天文台（ES0）、霍华德·休斯医学研究所（HHMI, Betzig）与罗切斯特大学在天文、多光子荧光显微镜及眼科应用上面取得了异常丰硕的研究成果。从2010年开始，上海昊量光电设备有限公司与Alpao建立了非常紧密的合作关系，旨在为国内的研究机构提供最先进的自适应光学技术。
Alpao变形镜是一款使用电磁驱动器的高速、高线性度和大波前调制量连续反射面变形镜，配合Alpao领先的自适应系统控制算法，其可以极好地满足对高速、精确波前校正的应用需求。
核心优势：
1. 大波前调制量
? 高达80μm PtV的光学波前调制量，可以校正大的波前畸变。
? 高达5μm 相邻驱动器间的光学波前调制量，可以校正高空间分辨率的波前畸变。
2. 高速变形能力
? 建立时间<500μs at +/-10%
3. 优异的光学面形质量
? 主动最佳光学面形质量<3nm
标准产品系列
DM69 | DM88 | DM97-08 | DM97-15 | DM241 | DM277 | DM468 | DM820 | |
驱动器数目 | 69 | 88 | 97 | 97 | 241 | 277 | 468 | 820 |
通光口径（mm） | 10.5 | 20.0 | 7.2 | 13.5 | 37.5 | 24.5 | 33.0 | >45.0 |
驱动器间隔（mm） | 1.5 | 2.5 | 0.8 | 1.5 | 2.5 | 1.5 | ||
闭环面形质量 | 7.0nm RMS | |||||||
倾斜波前调制量（PtV） | 60μm | 40μm | 80μm | 60μm | 40μm | 15μm | ||
建立时间（at +/-10%） | 800μs | 1.6ms | 800μs | 1.6ms | 500μs | |||
非线性误差 | <3% | |||||||
镀膜 | Protected Silver | |||||||
工作温度 | -10-35 °C | |||||||
定制选项：
? 其它镀膜：金膜、铝膜或者高损伤阈值的电介质膜
? 更大波前调制量：额外增加50%的波前调制量
? 更高波前调制速度：带宽增加100%
? <3nm RMS的闭环面形质量
? 与外部设备实现高速同步触发
典型特征：
? 真空兼容
? 亚纳米平均波前调制分辨率
? 表面粗糙度<15 ? RMS
? 相邻驱动器间的波前调制量>5.0μm PtV
? 平均功耗<10W（±1V低压控制）
? <10nm RMS的开环稳定性
Alpao变形镜电磁驱动器技术介绍：
下图是Alpao专利驱动器技术的示意图， 其中红色表示薄膜、黄色表示线圈、灰色表示磁铁、蓝色表示弹簧，通过给线圈加电流促使磁铁上下运动而使薄膜产生形变。
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