立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域,成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。
WOP主要业务包括:飞秒激光微加工可行性分析,定制飞秒激光系统和光学组件,激光微加工车间,激光微加工自动化软件,定制激光系统和设备控制电路。
■ 飞秒激光加工系统 FemtoFAB
FemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后,根据客户特定激光加工应用调试,包括对任何材料激光切割,激光划片,激光钻孔,3D激光铣削(使用的激光峰值功率>2.4GW)。系统使用Class 1激光安全防护罩,通过单个SCA工程软件窗口控制。
FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制,对不同工业微加工应用,提供最佳的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配。
产品特点:
●高加工速度,最高350000px/s
●加工不同物体亚微米分辨率
●飞秒加工模式具有最小热影响区
●直驱亚微米精度位移台
●使用高性能扫描振镜精细激光束控制
●点数控制(单点到350KHz)
●激光脉冲和移动物体在空间和时间上同步
●原版软件界面控制所有集成的硬件设备
产品应用:
●微光学
●光伏产业
●多光子聚合
●生物医学技术传感器
●其他精细微加工任务
样品特性
材料 | 固体材料,液态聚合物 |
尺寸(mm) | 150×150×150 |
光束成型和控制 | |
脉冲选择 | 集成、自动控制 |
扫描振镜 | 10m/s扫描速度,5×5 |
聚焦 | 高NA非球面镜或物镜,焦长1.45-18.4mm |
SLM(选配) | 1920×1080,15.36mm×8.64mm,16bit,反射式 |
位置 | |
类型 | XYZ,线性电机,交叉定位,空气轴承(选配) |
加工速度 | 350mm/s |
工作区域(mm) | 160×160 |
分辨率(nm) | 1 |
位置精度(nm) | ±300 |
重复性(nm) | ±50 |
稳定度(nm) | 3 |
样品支架 | 真空夹头 |
激光参数 | |
激光介质 | Yb:KGW |
波长 | 1028±5nm |
功率(W) | 4(6,8,10选配) |
振荡器输出功率(W) | 0.7-1.5 |
脉冲能量(mJ) | 1 |
重频(KHz) | 200(600,1000选配) |
脉宽 | <200fs-10ps(可调);<80fs(振荡器) |
光束质量 | M2<1.2 |
输出脉冲稳定性 | <1%RMS |
谐波产生器 | |
谐波 | SH(515nm),TH(343nm)选配,FH(258nm)选配 |
转换效率(@200KHz) | >50%(SH),>30%(TH)选配,>10%(FH)选配 |
谐波产生器 | |
功率控制 | 激光输出,电动衰减器 |
位移台控制 | 2.5D微加工,3D XYZ指令 |
控制界面 | 算法窗口,虚拟或GUI操纵杆 |
图形或矢量格式 | .bmp,.plt |
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