立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域,成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。
WOP主要业务包括:飞秒激光微加工可行性分析,定制飞秒激光系统和光学组件,激光微加工车间,激光微加工自动化软件,定制激光系统和设备控制电路。
■ 光伏电池飞秒激光工作站 SOLLAS
SOLLAS是WOP专门为硅基太阳能电池行业开发的激光加工机床,配置有飞秒紫外激光器和纳秒红外激光器,具有多任务操作功能,用于工业和研究,最高产能3MW/a。
产品特点:
●工业研究生产线产量2.5 MW/a
●飞秒紫外和纳秒红外激光源
●机器视觉系统探测旋转和调整激光扫描区域
●使用高性能扫描振镜精细激光束控制
●5”和6”晶圆加工
●生产模式下直观的触摸屏用户使用界面(SCA工程设计)
●研究模式下全功能软件(SCA工程设计)
SOLLAS 执行4项工艺:
●选择性刻蚀SiNx/SiO2
●后触点激光烧制
●边缘绝缘处理
●激光标刻
●可行性测试后整合其他加工过程
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