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场发射
0.078nm（DF-STEM），0.1nm（TEM lattice），0.23nm（TEM point）
最高200kV
TEM（x200~x4,000,000）, STEM（x20~x4,000,000）,
日立发布的200kV球差校正透射电镜HF5000，具有高稳定冷场发射电子枪，自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正，HAADF-STEM分辨率可以达到0.78埃；可配置EDS双探头，固体角最大可达2.0sr；具备TEM、STEM，SEM和电子衍射等多种图像观测模式；镜筒和样品台经过了重新设计，显著提升了仪器的性能和稳定性......HF5000将是材料学、生命科学、半导体制造、石油煤炭等研究领域的可靠助手。
特点：
1、高度自动化球差校正，尽量减少人员介入，适用于繁忙的分析测试中心或设备平台;
2、三位一体呈现(TEM、STEM、SEM)，内部结构成像和表面结构成像可同时进行同时获取;
3、EDS超大球面角，无窗口探头。可实现快速，高灵敏度化学成分分析;
4、前瞻性平台总体设计，为性能扩增预留选项，例如可扩增为气体环境电镜。
参数配置：
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