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真空紫外椭偏仪

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品牌

HORIBA

型号

UVISEL 2 VUV

产地

欧洲法国

应用领域

暂无

    专为VUV 测量设计,整个系统处于真空状态,无氧气吸收。具备高度准确性的超快测量速度;快速样品室抽真空能力,方便快速更换样品;氮气消耗量少。

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产品特点

  • 50KHz 高频PEM 相位调制技术

  • 45 秒内完成充氮气

  • 2 分钟内完成样品室抽真空

  • 8 分钟内完成光谱全谱范围内测量

  • 两种工作模式:氮气清洗结合抽

  • 真空、连续氮气清洗

  • 光谱范围:147nm~850nm;147nm~2100nm



重点应用领域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有机材料、高分子材料

  • 高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂层

  • 半导体和介电材料电子跃迁

  • MgF2、CaF2、LaF3


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