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大角度微型二维扫描镜
所属类别： ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 快速倾斜镜/转镜/旋转平移台
产品简介
微型二维扫描镜
大偏转角度二维光束控制系统！
AUM3系列光束控制系统是使激光精确点到点和动态运动的设备。该控制系统采用压电电机直接驱动，无伺服抖动。并有自锁设计，可保持在任一位置不需要任何功耗。AUM3光束控制系统拥有集成的闭环控制系统，可提供高精度的运动和重复性。内置控制器和驱动，可通过标准串口直接接受系统的控制。该系统拥有可以与MEMS相匹敌的紧凑的体积，但可以提供更宽的运动范围和可接受更大的激光功率。该设备是小体积的，低功耗的易于集成的光束控制系统。
光束控制系统、二维扫描镜、激光扫描振镜、光束转向装置，大角度微型二维扫描镜，微型振镜
AUM3系列光束控制系统是使激光精确点到点和动态运动的设备。该控制系统采用压电电机直接驱动，无伺服抖动。并有自锁设计，可保持在任一位置不需要任何功耗。AUM3光束控制系统拥有集成的闭环控制系统，可提供高精度的运动和重复性。内置控制器和驱动，可通过标准串口直接接受系统的控制。该系统拥有可以与MEMS相匹敌的紧凑的体积，但可以提供更宽的运动范围和可接受更大的激光功率。该设备是小体积的，低功耗的易于集成的光束控制系统。
AUM3系列光束控制系统主要包括以下几种。
①双反射镜二维光束控制系统。该系统包含两个反射镜，并可在正交的方向上独立的运动。该系统的反射镜由压电马达驱动，可提供高达±40°的光束偏转角度，偏转速度可达到5760°/S。双反射镜光束控制系统拥有两个角度传感器，角度分辨率可达到0.04°，运动精度可达到0.1°。内置控制器和ICs驱动，使该系统拥有紧凑的体积（20.5 x 10 x 7.8 mm3）。
②单反射镜二维光束控制系统。该系统包含一个反射镜、两个压电马达、两个角度传感器、IC驱动和控制器。压电马达直接作用于反射镜的边缘，调节Z方向的高低，可提供光束偏转的角度达到±19°。相比于双反射镜光束控制系统，该系统拥有更快的响应速度，光束偏转1度只需要0.63毫秒。在每个运动轴上，都有一个角度传感器，该控制系统的角度分辨率可达到0.04°，运动精度可达到0.1°。由于使用单反射镜，因此拥有更紧凑的体积（10 x 10 x 5mm），可接受的最大激光光斑可达到3mm。另外该设备镜子的尺寸、形状、材质可选根据不同的应用。
③超紧凑里斯利（Risley）棱镜光束控制系统。包含两个可绕着光轴独立运动的楔形的棱镜。通过连续的控制棱镜的方向来改变光束的方向，光束的偏转角度可达到±6°原理如下图所示。
该光束控制系统采用微轴承导向，使每个棱镜拥有极低的抖动和摩擦。压电马达通过摩擦棱镜的外侧驱动棱镜，并且无伺服抖动。内置控制器和位置传感器，使该控制器的分辨率可达到0.1°，运动精度可达到0.6°。与以上两种类型的光束控制系统相比，该系统可接受高功率的激光，可接受的最大激光光斑可达到6mm。
对比以上几款激光器，各有优劣，①双反射镜二维光束控制系统，优势是拥有较大的光束偏转角可达到±40°，但是该设备要求光束为平行光束。②单反射镜二维光束控制系统，拥有较快的响应速度、较小的体积和质量，可适用于收敛和发散的光束，但是该设备要求入射光必须与镜面成45°，当镜面垂直于Z轴时。③里斯利（Risley）棱镜光束控制系统，可以接受高功率的激光，高效率和同轴的光路，劣势是，该系统的响应速度较慢，并且要求棱镜的旋转和光束的偏转角之间的非线性转换。
u 主要特点
2 大偏转角度
2 高精度
2 超紧凑结构
2 可承受大功率激光
2 低功耗
u 主要应用
医学：皮肤激光扫描实现精确曝光、体内和体外激光手术、荧光显微镜和成像仪的激光源扫描等。
工业：3D打印、3D测量、光谱学、激光打印、雕刻和加工等。
通讯学：自由空间光系统的激光束指向和跟踪、光纤到光纤的光学转换等。
u 主要参数
Two-Mirror M3 Module | Single-Mirror M3 Module | Risley Device M3 Module | |
Beam Motion | |||
Range of ΘX and ΘY (deg) | +/- 40 | +/- 19 | +/- 6 |
Speed (deg/s) | 5760 | 3820 | 379 |
Acceleration (deg/s 2 ) | 1,664,000 | 10,000,000 | 41667 |
Resolution (deg) | 0.04 | 0.04 | 0.1 |
Accuracy (deg) | 0.1 | 0.1 | 0.6 |
Maximum Beam Diameter (mm) | 2 | 3 | 6 |
Fastest beam stepping time for: | |||
0.1 deg (msec) | 0.49 | 0.2 | 4.38 |
1 deg (msec) | 1.55 | 0.63 | 13.86 |
10 deg (msec) | 4.9 | 3 | 61.88 |
Approx. Module Size (mm) | ~ 20 x 10 x 10 | ~10 x 10 x 5 | ~ Dia. 16 x 15 Length |
Approx. Module Volume (mm 3 ) | 2000 | 500 | 3000 |
Controller | Built in | Built in | Built in |
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