在线式
进口
NH3,HCL,HF等
5s
0.01ppb
0.1ppb~10000ppm
猎户座3100系统:完善的空气分子污染物(AMC)监测
实时监测空气分子污染(AMC )对于半导体生产过程极为重要。
快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸类等浓度测量,当这些气体与化学放大光刻胶反生反应 时,将深深的影响半导体器件质量。
传统古老的方法多采用间接测量分析方法。包括撞击滤尘器、离子色谱、化学荧光法,这些方法分析速度太慢,操作过程太复杂,昂贵并且测量结果不精确。
CEAS (腔增强吸收光谱)---原理
基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术的仪器原理图,使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测量,测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成,激光束经过固态校准器(FSR=2.00GHz)时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度,忽略了原本照射到左侧测量单元腔镜外的光束。
EP增强型版本集成了压力传感器和内部温度控制器,具有超稳定性测量腔室,防止温度漂移、压力变化等造成的误差。
CEAS(腔增强吸收光谱)相比于第一代的CRDS(腔衰荡光谱)技术,有许多已被证明的优势。简而言之,激光束不需要 共振耦合进入测量腔室(例如光束不需要严格对准)。DUKE分析仪器和系统具有天生安装简单、机械牢固、防护结实等特点。
1年
是
有
技术人员上门培训
半年1次
免费维修,更换零件(不是人为损坏)
24小时内技术电话回复,3天内上门维修
相关产品
热导式气体分析仪
尘量分析仪
粗、细颗粒物双道采样器
颗粒物采样器
粉尘采样器
降水/降尘自动采样监测仪
气体采样器/大气采样器
空气检测仪(CO、SO2、HCL、NOX)
烟尘采样器、烟气采样器
汽车尾气分析仪
烟气监测(CEMS)/烟气分析仪
VOC检测仪/TVOC检测仪
PM2.5采样器
TSP采样器
PM10采样器
其它气体检测
甲醛检测仪/甲醛分析仪
CO2分析仪、CO分析仪
粉尘测定仪/粉尘仪
气溶胶检测仪/系统
氨气分析仪/氨分析仪
空气微生物采样器
臭氧分析仪(O3)
气体稀释仪
粒子计数器
灰霾监测系统
PM2.5/PM10/PM1/TSP大气颗粒物监测仪
氮氧化物分析仪(NOX)
烟气汞连续监测系统(Hg-CEMS系统)
二噁英采样仪/二噁英采样器