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HLI-A型白光干涉垂直扫描表面形貌综合测量仪是基于光学干涉原理，实现超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面结构的非接触精密测量，帮助表面形貌功能质量评价和工艺分析
1.产品型号：WLI-A
2.产地：中国武汉
3.产品功能：基于光学干涉原理，实现超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面结构的非接触精密测量，帮助表面形貌功能质量评价和工艺分析。
4.特性参数
型号 指标 | HLI-A | HLI-C |
放大倍率 | 10╳， 20╳，50╳ | |
垂直分辨率 (nm) | 0.1 | |
垂直范围(mm) | 0.08 | 4mm |
水平分辨率(um) | 3.0 (10倍)， 1.0 (20倍)，0.5 (50倍) | |
水平范围(mm2) | 2×1.5/10╳，1×0.8 /20╳，0.4×0.3 /50╳ | 20×20 |
输出标准化参数 | 二维粗糙度参数(ISO25178)：Ra，Rz，Rz，Rmax，Rp，Rq，Rpm，Rvm，R3z ,Wt，Pt，Tpa Ra 三维粗糙度参数(ISO25178)：Sa, Sq, Sp, Sv, Sz, Ssk, Sku, Sal, Str, Sds, Sdq, Sdr, Ssc | |
5.应用实例
（1）H=1.2μm标准单刻线样
（2）Ra=1.732μm标准多刻线样板测量
（3）MEMS结构表面MEME-1测量结果
（4）MEMS结构表面MEME-2测量结果
（5）MEMS结构表面MEME-3测量结果
（6）MEMS结构表面MEME-4测量结果
6.经典应用领域：
（1）质量管理
（2）工艺控制
（3）产品研发
型号 指标 | HLI-A | HLI-C |
放大倍率 | 10╳， 20╳，50╳ | |
垂直分辨率 (nm) | 0.1 | |
垂直范围(mm) | 0.08 | 4mm |
水平分辨率(um) | 3.0 (10倍)， 1.0 (20倍)，0.5 (50倍) | |
水平范围(mm2) | 2×1.5/10╳，1×0.8 /20╳，0.4×0.3 /50╳ | 20×20 |
输出标准化参数 | 二维粗糙度参数(ISO25178)：Ra，Rz，Rz，Rmax，Rp，Rq，Rpm，Rvm，R3z ,Wt，Pt，Tpa Ra 三维粗糙度参数(ISO25178)：Sa, Sq, Sp, Sv, Sz, Ssk, Sku, Sal, Str, Sds, Sdq, Sdr, Ssc | |
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根据公司产品情况而定
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