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等离子清洗机主要用于对材料表面进行精细化清洁、提高表面能、接枝基团。目前等离子清洗机主要有真空/低压式和常压/大气式。真空等离子设备的装置是在密封的腔体中设置正负电极，连接真空泵使真空腔达到一定的真空度，随着真空腔气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离越来越长，在电场作用下，分子或离子之间相互碰撞形成等离子体。等离子体的活性很高，能量足以破坏各种化学键，在暴露的表面发生化学反应或者物理溅射，从而清洗掉表面污染物，增强材料表面张力。
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