一、pGas200-ASM-SC-6s 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
PH3-4PH:0.05-20ppm SiH4-4SL:0.05-50ppm AsH3-3E1:0.015-1ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警, 有一定的区辩能力. Chlorides对HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有响应; Fluorides对HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有响应; Gas200通过标定系统甚至可能对H2B6.GeH4,H2Se进行定性定量探测. |
二、PGas200-ASM-SC_4s 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警, 有一定的区辩能力. Chlorides对HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有响应; Fluorides对HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有响应; Gas200通过标定系统甚至可能对H2B6.GeH4,H2Se进行定性定量探测. |
三、PGas200-ASM-SC_3s1 便携式气体分析仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm | EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警
|
四、 PGas200-ASM-SC_3s2 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm TOX:0-30ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC | 扩散式采样;半导体车间全毒气报警 TOX-ADS02 对氯化物,氟化物,溴化物,硫化物,胺,苯类皆有高灵敏度响应. |
*其中H代表氢化物;Cl代表氯化物,包括氯化氢; F代表氟化物,包括氟化氢;
BD4主机测试ADC分辨率: 0.025%FS
电化学探头准确度: ±1-2%读数(一般)
长期稳定性: +/-10% /年 (一般)
分析器响应时间:< 10ms
探头响应时间:<1min
仪器使用环境: 温度:-10℃~60℃; 湿度:10%~90%R(无结露)
仪器保存环境: 温度: 0℃~50℃; 湿度:10%~80%R(无结露)
电化学探头直接采样: 温度: 0-40℃; 压力:<1.1 kgf/cm2
供电: 6V充电蓄电池
连续使用时间: >24Hr/每次充电; 电池置放时间1周。
便携式半导体车间毒气检测仪pGas200-ASM-SC-6s,气体分析仪,有毒有害气体检测仪,请与北京市北斗星工业化学研究所联系。
1年
是
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免费培训
1年
质保内免费维修
双方根据需要协商
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