仪器对比
关注
样本下载
第一个商用的非接触式测量4和6英寸晶片的太赫兹时域光谱测量系统。
它可以适应所有半导体材料!
这是一个新的太赫兹时间域光谱仪, 它介绍了与太赫兹光谱学相结合的椭偏测量。
反射光学的使用使其最适合于不透明材料的测量。
4、6英寸半导体晶片无接触、无损检测的标准仪器。
SiC基板的分布测量，密集的颜色区域已被检测为不同的载流子密度。
砷化镓外延层的测量结果
| 参数 | n型 (数据量 :4×1018cm-3) | p型 (数据量:1×1018cm-3) |
| 载流子密度N (cm-3) | 4.48×1018 | 1.15×1018 |
| 弛豫时间 (secs) | 8.47×10-14 | 2.51×10-14 |
| 流动性 μ (cm2/Vs) | 1885 | 130 |
| 电阻率 p (Ω?cm) | 0.74 x 10-3 | 0.042 |
获得的载流子密度与霍尔测量结果误差±10%一致。
大阪大学hangyo实验室测量结果
用特赫兹波谱的光谱学：
太赫兹光谱是在太赫兹光谱区域（THz）中测量的，它由位于光和电波之间的电磁频谱的边界区域中的频率构成。
电场强度和相位信息可以同时测量，通过对电磁脉冲的电场强度的时域波形的测量。
通过分析参考样品和样品的时域波形的差异，可以获得样品的复介电常数和复折射率的频率依赖性。
产品规格
| 测量系统 | 太赫兹时域椭圆光度法 |
| 测量信号 | 电场强度的时间波形 |
| 输出数据 | 椭圆参数，复杂折射率/复合介电常数/导电率，使用分析程序 |
| 样品装置 | 水平配置（测量面：上面) |
| 测量区 | 中心波长接近780-800纳米，脉冲宽度小于100 f （可以使用外部激光源） |
| 飞秒脉冲激光器 | 40 GHz ～ 4 THz 以上（截止频率） |
| 电脑配置 | 与Windows 7兼容（32位版） PC（上图）Tera Evaluator需要1个有线局域网端口和2个USB端口来连接到翅目评估器。 |
| 软件 | 测量软件和分析软件 |
| 尺寸规格/重量 | 732 (W) x 585(D) x 500 (H) mm, 大约85kg（排除电线和突出物等）） |
| 电源要求 | AC100 V（50/60 Hz）10 A（建议为激光电源提供一个额外的电源插座） |
日本 PNP Tera Evaluator太赫兹时域光谱仪信息由广州贝拓科学技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于日本 PNP Tera Evaluator太赫兹时域光谱仪报价、型号、参数等信息，贝拓科学客服电话：400-668-1210，欢迎来电或留言咨询。
相关产品
