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进口等离子体表面处理仪
13.56MHz
0~75W
450mm (W) x 250mm (H) x 430mm (D)
2.6L
石英玻璃
标配2路可选配三路
全自动
一、Tergeo系列等离子清洗机应用
适用于等离子体清洗，蚀刻，表面处理
应用领域
1.医疗器械活化、杀菌和提高涂层附着力
2.光刻胶灰化、除渣、硅片清洗
3. PDMS，微流体，玻片和实验室上的芯片
4.用于烃污染去除的SEM / TEM样品清洗
5.引线键合，倒装芯片底部填充，器件封装和解封
6.改善金属与金属或复合材料的结合
7.改善塑料、聚合物和复合材料的粘接
二、Tergeo系列等离子清洗机的特点
1、13.56MHz高频射频发生器；
2、7英寸触摸屏控制界面，全自动操作；
3、标配75W版本，可选150W版本；
4、系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化。
浸入式等离子源 远程式等离子源
三、技术参数
1、控制系统
1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式。
2）程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤。
2、反应腔体
1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱；
2）腔体容积：2.6L；
3）腔体尺寸：内径110毫米，深度280毫米。
3、射频电源
1）射频频率：13.56MHz；
2）射频功率：标配0~75W；从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调，可选0~150W。
4、等离子源
1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度。
2）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。
5、气体控制
1）气路控制：标配一路MFC；可选配三路MFC；
2）质量流量计可以在0~100sccm之间控制气体流量；
3）一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。
四、可选配项
气体流量控制混合仪：各路气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控。
特点：
综合计时器；
触摸屏操作界面；
最多三个质量流量控制的气体输入口；
排气/通过排气室的传输口和高速抽真空的气体管道来排气；
对于不同种类的气体，气体流量率补偿也是不同的；
质量流量计可以在0~100sccm之间精确控制气体流量；
1年
否
无
1次线上培训
无
因产品质量问题免费保修（各种消耗品除外），仪器提供全面维护，使之处于正常工作状态
产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应（除节假日外），以最快的速度派遣
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